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離子注入機(jī)形成適應(yīng)不同溫度段全系列產(chǎn)品格局! | 裝備名片

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什么是裝備擔(dān)當(dāng)?

 

是聚焦國家所需、矢志奮斗的胸懷,

60余年的艱苦奮斗

從無到有填補(bǔ)多個產(chǎn)業(yè)鏈空白

 

是瞄準(zhǔn)行業(yè)所趨、一茬接著一茬干的毅力

從單臺到整線

打造行業(yè)“單項(xiàng)冠軍”占領(lǐng)價值鏈高端

 

是回應(yīng)職工所期,上下同欲、攻無不克的決心

在高效協(xié)同中集智攻關(guān)

實(shí)現(xiàn)科技實(shí)力從量的積累到質(zhì)的飛越的轉(zhuǎn)變

 

電科裝備特別策劃《裝備名片》系列欄目,

集中展示一批拳頭產(chǎn)品

與您一同領(lǐng)略

高水平科技自立自強(qiáng)的裝備華章

 

 

發(fā)展國產(chǎn)裝備,鑄就國芯基石

電科裝備 爍科中科信

離子注入機(jī)是通過對半導(dǎo)體材料表面進(jìn)行某種元素的離子注入摻雜,從而改變其特性的設(shè)備,芯片的性能、穩(wěn)定性、良品率及壽命都和離子注入這一工序密切相關(guān)。北京爍科中科信打通了從技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)品定型到批量生產(chǎn)的離子注入機(jī)產(chǎn)業(yè)化通道,實(shí)現(xiàn)了從單臺設(shè)備集成到全系列產(chǎn)品布局的跨越,產(chǎn)品線覆蓋中束流、大束流、高能機(jī)、特種、化合物半導(dǎo)體等,已實(shí)現(xiàn)全系列離子注入裝備28納米工藝制程全覆蓋,形成了包括低溫、常溫、高溫不同溫度段注入的全系列離子注入機(jī)產(chǎn)品格局,具備生產(chǎn)邏輯、存儲、功率器件、傳感器等工藝器件的能力,切實(shí)保障產(chǎn)業(yè)鏈、供應(yīng)鏈的韌性和穩(wěn)定。